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半導體濕法工藝中的閥門應用

作者： 2021年02月05日來源：瀏覽量：

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蝕刻（Etch）是半導體加工中非常重要的一環，一般分為干法蝕刻和濕法蝕刻，其中濕法蝕刻涉及具有腐蝕性的化學藥液和高純水，對于介質流經的管路閥門等有較高標準的規定。

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標簽：半導體濕法閥門應用

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